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用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂和处理光致抗蚀剂层的方法

832   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:24:18
本发明提供一种用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂,其包括50到80重量%的醋酸正丁酯,丙二醇烷基醚,和丙二醇烷基醚醋酸酯。该稀释剂既对人类无毒害,也不对生态带来不利影响,而且没有不适的气味。其废液和与之相关的废水容易处理,由此使得这种稀释剂对环境友好。本发明的光致抗蚀剂稀释剂具有优异的冲洗能力。
声明：
“用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂和处理光致抗蚀剂层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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