本说明书描述用于从废水中去除季铵氢氧化物(例如四甲基氢氧化铵(TMAH))的系统和方法。所述系统和方法可以位于电子制造的现场,并生产TMAH溶液用于再利用。所述系统包括膜过滤单元、离子交换单元和电渗析单元(例如三室电渗析单元)。所述方法包括过滤废水以优先去除季铵氢氧化物以外的污染物。通过离子交换处理过滤的水,以生产具有增加浓度的季铵阳离子的再生流。通过电渗析处理再生流以形成季铵氢氧化物溶液。
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