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金刚线切割晶体硅生产线及其用水系统

765   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:09:07
本发明涉及一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，所述金刚线切割晶体硅生产线携带至少一台线切机，所述线切机使用金刚石线锯将硅棒切割为硅片，在金刚石线锯切割过程中来自线切机储水罐的循环水冲洗切割部件；冲洗切割部件后的废水被收集，将废水处理得到生产用水；所述生产用水经过调配得到循环水，循环水供给给线切机使用。本发明通过将金刚线切割晶体硅生产线产生的废水，进行处理得到生产用水，补充纯净水，调配组成后作为循环水继续进入金刚线切割晶体硅生产线用作冷却水和/或冲洗水，一方面能够大量节省用水和减少废水排放，另一方面能够降低用水量和排水量的峰值，降低设备的额定容量。 1
声明：
“金刚线切割晶体硅生产线及其用水系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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