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增进超纯水水质稳定度的方法

633   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:07:30
一种增进超纯水水质稳定度的方法,是在超纯水的供水系统中—包括有前处理系统,超纯水回路和制程废水回收系统(包括洗涤废水回收系统,CMP制程废水回收系统(chemical mechanic polish waste water recovery system等等),强制对流体混合,使任一截面的流体,和前面及后面相邻的截面的流体彼此混合,再将最终产出之超纯水送至需要超纯水的物品上。
声明：
“增进超纯水水质稳定度的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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