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玻璃基板清洗单元

826   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:05:31
本实用新型涉及N2退火炉及快速退火前清洗机喷嘴的安装、排布方式，提供一种玻璃基板清洗单元，包括与传送入腔室内的玻璃基板相对设置的主清洗喷嘴和副清洗喷嘴，所述主清洗喷嘴排布于腔室的前段，副清洗喷嘴排布于腔室的后段，副清洗喷嘴的喷射出口方向与玻璃基板的传送方向之间的夹角小于90度，本实用新型采用主清洗喷嘴和副清洗喷嘴相结合的喷嘴安装排布方式，与现有仅仅包含与玻璃基板垂直的清洗喷嘴的清洗单元相比，通过在腔室后段增加设置副清洗喷嘴，增强了整个清洗单元对玻璃基板上较小颗粒的去除能力，阻止清洗掉的颗粒再次附着到玻璃基板上，同时使玻璃基板上的清洗废水流向与玻璃基板的流向相反，减少了颗粒进入相邻腔室的几率。
声明：
“玻璃基板清洗单元” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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