本实用新型揭示了一种半导体有机清洗设备的供水系统,该供水系统的组成包括用于回收清洗废水的加热水箱,与加热水箱排放管相连的清洗泵,以及从清洗泵连至工艺腔的出水管路,其中加热水箱中设有与其中贮水直接接触的电磁加热系统,且加热水箱中设有测量范围高于60℃的水温采集装置。通过自动阶梯式的电磁加热保持水质,并且该加热水箱还一个多套系统共用。应用本实用新型的技术方案,可以在满足半导体清洗所用超纯水要求下,省却传统系统的多个过滤器及电阻率测量装置,从而节省了可观的加工成本,大大增加了设备正常运行的时间。
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