本实用新型公开了一种酸性废蚀刻液的循环再生装置,包括酸性蚀刻机、通过连接管道与所述酸性蚀刻机上酸性废蚀刻液出口相连的用于将酸性废蚀刻液中的铜进行萃取和反萃取的铜萃取-反萃取机构、与酸性蚀刻机上蚀刻液入口和所述铜萃取-反萃取机构相连的蚀刻液组份调节机构、与所述铜萃取-反萃取机构相连的电解沉积铜机构,整个处理过程中物料实现闭路循环,没有废水排放,能有效回收铜和循环利用废蚀刻液中其他物质,大大减少蚀刻工序的污水排放量,降低环保压力,并且三个循环部分可同时连续工作,降低了处理运行成本,并且其铜萃取剂萃取和反萃取操作都是在箱式混合-澄清萃取槽中进行,槽内液体流动不需要泵,整体结构紧凑成本低。
声明:
“酸性废蚀刻液的循环再生装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)