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用于重金属监测的金纳米带三电极传感器及其制备方法

607   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:43:40
本发明公开了一种用于重金属监测的金纳米带三电极传感器及其制备方法。本发明选用硅片或玻璃作为基底，采用MEMS技术将电极材料沉积在基底上，并通过光刻技术完成电极的制作，接着采用PECVD法沉积Si3N4绝缘层，再光刻出电极表面及焊盘，然后用高精度硅刀切割基底，在切面处暴露出纳米级的金工作电极；最后将电极与PCB板通过金线压焊在一起，并用环氧树脂密封，完成传感器的制作。本发明可用于溶液中阴阳离子浓度的定量检测，修饰后可对生物分子进行定性检测，可应用于环境监测、生物医学、工业废水废气等领域。
声明：
“用于重金属监测的金纳米带三电极传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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