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衬底及其回收再利用的方法

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:43:38
本发明提出了一种衬底及其回收再利用的方法，其中一种能够回收再利用的衬底，包括：生长衬底和预置转换层，所述预置转换层能够将所述生长衬底转换为反射衬底；其中一种衬底进行回收再利用的方法，包括以下步骤：所述生长衬底依次外延生长所述预置转换层和所述功能层，利用腐蚀液选择性消除所述预置转换层，所得的所述生长衬底经过表面处理步骤之后，进行再利用，所得的所述功能层经过表面处理步骤之后，通过沉积、光刻、刻蚀和蒸镀制备介质层和银镜，通过电镀方式制备铜衬底。本发明的生长衬底可以重复利用，节省成本；同时生长衬底的As不会带入后续工艺流程，降低工业废水的污染治理成本，使得其具有明显的技术先进性和良好的经济效益。
声明：
“衬底及其回收再利用的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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