本发明公开了一种高催化活性TiXN/Pt复合膜电极,属于能源材料制备技术领域,该复合膜电极为TiXN/Pt复合膜,X为金属Mo或V或Nb或W过渡族元素中至少一种;TiXN膜中,Ti含量范围在16‑65.99at%,X元素含量的为0.01‑44at%,N元素含量为35‑50at%。本发明公开了一种高催化活性TiXN/Pt复合膜电极及其制备方法,针对湿法化学工艺中存在的工艺复杂、成本高、环保性差问题,以及粉体催化剂不易牢固装配,氮化钛粉体和Pt协同催化有待提高等问题,本发明采用磁控溅射技术制备多元复合过渡金属氮化物/Pt膜,原材料采用纯金属,制备方法简单易行,易规模化,无废水及废弃排放,环保性好;膜材料直接附于基体,不需额外粘连。该发明很好的工业化推广前景,可再燃料电池等邻域有广泛应用。
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