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光罩清洁装置

957   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:37:40
本实用新型是光罩清洁装置，涉及一种以擦拭方式来清洁光罩的装置，特别是指一种可有效去除附着于光罩任一侧凸缘及于凸缘侧的外框侧边上微粒子与雾化污渍的光罩清洁装置；此光罩清洁装置至少包含光罩升降组、清洗夹头组、水平位移组、清洁区及点胶机所组成，可达成有效且迅速地的去除光罩任一侧上的凸缘及于凸缘侧的外框侧边上附着的微粒及雾化污渍，并可节省人工及废水处理成本及缩短光罩清洗时间，且进一步可确保光罩清洗后的洁净度，以利于提升半导体制程良率。
声明：
“光罩清洁装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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