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制备硅晶片的工艺废水之处理方法

910   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:16:22
本发明提供一种含高浓度微粒及难分解有机物质之废水的处理方法，例如一种制备硅晶片时所产生的废水的处理方法，包含从该废水中分离出其中所含的微粒，而得到的一实质上不含微粒的水；以厌氧微生物分解方式处理该实质上不含微粒的水，使得其中所含的有机物被部份分解，而得到一第一部份净化水；及以好氧微生物分解方式处理该第一部份净化水，使得残留于其中的有机物被进一步分解，而得到一第二部份净化水，其中该好氧微生物分解方式的COD去除率比在相同条件下但未使用厌氧微生物分解方式者提高20～85％。
声明：
“制备硅晶片的工艺废水之处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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