本发明提供一种含高浓度微粒及难分解有机物质之废水的处理方法,例如一种制备硅晶片时所产生的废水的处理方法,包含从该废水中分离出其中所含的微粒,而得到的一实质上不含微粒的水;以厌氧微生物分解方式处理该实质上不含微粒的水,使得其中所含的有机物被部份分解,而得到一第一部份净化水;及以好氧微生物分解方式处理该第一部份净化水,使得残留于其中的有机物被进一步分解,而得到一第二部份净化水,其中该好氧微生物分解方式的COD去除率比在相同条件下但未使用厌氧微生物分解方式者提高20~85%。
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