本实用新型涉及废水处理技术领域,具体涉及一种半导体生产中废水处理装置,包括废水收集池,废水池通过第一水泵连接H2O2处理池,H2O2处理池内设有MnO2,H2O2处理池通过第二水泵连接硝化槽,硝化槽中有硝化细菌,硝化槽内设有PH浓度
检测仪,硝化槽上还设有NaOH溶液进液管,进液管上设有电磁阀,所述硝化槽通过第三水泵连接再曝气槽,再曝气槽内设有好氧微生物。本实用新型对于H2O2含量高的废水先通过MnO2来降低H2O2含量,使得COD值降低,然后通过硝化细菌来除碳与脱氮,再通过好氧微生物进行,这样使得废水出水COD值达标。
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