本实用新型公开了一种用于硅片脱胶废水的处理装置,包括依次连通的用于过滤硅片脱胶废水中颗粒杂质的预处理单元、超滤单元、反渗透单元。超滤单元包括第一进水口、第一产水口、第一浓液出口;反渗透单元包括第二进水口、第二产水口、第二浓液出口;第一进水口与预处理单元连通,第一产水口与第二进水口连通。本实用新型一种用于硅片脱胶废水的处理装置,通过预处理单元,有效的去除了硅片脱胶废水中的大颗粒杂质;通过超滤单元和反渗透单元的组合过滤,有效的过滤了硅片脱胶废水中的硅粉和乳酸,第二产水口的清液可以直接排放或者回用于生产,第二浓液出口的浓缩液可以用于硅片脱胶生产中;减少了污水排放,节约了生产成本。
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