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微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置

838   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:40:12
本实用新型公开了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，涉及废水处理技术领域，包括底座，底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，底座上表面的中部固定连接有电解箱，底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，电解箱上表面的一侧设置有电机，电机的输出端固定连接有传动轴，传动轴的表面固定连接有搅拌杆，传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，第一齿轮的表面啮合有传动机构，该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。
声明：
“微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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