合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 环境保护技术

> 废水处理技术

> 半导体工艺废水之处理方法

半导体工艺废水之处理方法

906   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:38:29
本发明提供一种由数股半导体工艺废水汇集成的综合废水的处理方法，该综合废水不含NH4F/HF缓冲的氧化物蚀刻液(Buffered Oxide Etch solution)废水(简称NH4F/F-废水)，而基本上含有氧化剂、有机物、无机物、及氨氮杂质。首先对该综合废水进行去氧化剂处理；接着以无氧微生物分解方式进行处理，使其中所含的杂质被部份分解；再以有氧微生物分解方式进行处理，使残留于其中的有机物及氨氮被进一步分解，而得到可回收或排放的废水。本发明方法进一步包含对NH4OH淋洗废水、TMAH黄光工艺废水、或NH4F/F-废水进行个别处理的步骤，及将此等个别处理所得到废水整合于该综合废水的处理方法。
声明：
“半导体工艺废水之处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
废水处理
上一个：己内酰胺生产废水的处理系统
下一个：处理酸性和金属废水的方法

与 “半导体工艺废水之处理方法” 相关技术

▪ 斗轮上料磁选车
▪ 新型重金属螯合絮凝剂的制备技术
▪ 活塞式内燃机中活塞环用合金材料
▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置

相关废水处理设备推荐

污水处理曝气设备
新型抗结露袋式除尘器
氟美斯(FMS)复合针刺毡布袋
佳蔓环保设备 除尘器
废气处理设备一体机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪斗轮上料磁选车
▪新型重金属螯合絮凝剂的制备技术
▪活塞式内燃机中活塞环用合金材料
▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置

报名参会
更多+

冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日

报告下载

1 废光伏组件拆解回收与稀贵金属回
下载:142
2 基于热还原法选择性回收废旧锂离
下载:108
3 退役动力电池资源化回收关键技术
下载:106
4 工业石膏资源化综合利用新技术开
下载:106
5 复杂铜基多金属固废绿色协同冶炼
下载:104
6 废旧锂电全组分回收与利用
下载:101
7 涉重危废资源化利用理论体系构建
下载:98
8 多固废协同促进尾矿跨区域大规模
下载:97
9 稀土固废多组分协同提取与再生技
下载:94
10 工业固废及废水金属资源化解决方
下载:88
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1铝灰处理方法
2矿石分级土壤处理装置
3锂渣固废资源化回收工艺
4钽铌湿法冶金废水处理方法
5铜矿选矿尾渣废物利用方法
6铅锌矿选矿废水处理装置
7利用微波辅助降解选矿废水中氰离子的方法
8钢铁烧结烟气中二氧化碳捕集的系统及方法
9选矿废水深度处理回用装置
10含锌、铁烟尘及炉渣的综合回收处置工艺
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记