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多晶硅生产废气及清洗废水处理系统

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:30:40
本申请涉及一种多晶硅生产废气及清洗废水处理系统，氮化硅瓷环清洗设备的碱性废液出口连接有缓存罐，缓存罐的出口与淋洗塔的洗涤水进口相连，储液槽内设置有隔挡板，将储液槽分隔为接收地槽和循环槽，接收地槽的进口与淋洗塔底部的洗涤水出口相连，隔挡板开设有开口，开口罩设有滤网，循环槽的出口与缓存罐的进口相连，述缓存罐和循环槽中的一者安装自动加药装置，自动加药装置包括储药罐和pH检测器，二者通过控制模组电连接。上述方案能够将氮化硅瓷环清洗后的碱性废液作为洗涤水用于淋洗废气，减少氢氧化钠原料的使用量，从而降低废气的处理成本，同时，洗涤水在每次循环前均通过沉淀过滤，从而能够较大程度上避免循环管道被堵塞。
声明：
“多晶硅生产废气及清洗废水处理系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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