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5G半导体晶圆加工用废水处理装置

948   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:26:37
本实用新型属于半导体晶圆加工技术领域，且公开了一种5G半导体晶圆加工用废水处理装置，包括工作台，所述工作台的上壁面安装有支撑结构，所述工作台的上壁面安装有过滤结构，所述支撑结构的上壁面安装有循环结构，所述支撑结构的上壁面安装有导向结构，本实用新型通过三个过滤网依次过滤，将废水中杂质剔除，使废水再次使用，实现加工处理相结合，节约水资源，解决了半导体晶圆加工时会大量的浪费水资源的问题，本实用新型是完全的机械结构，这样的机械结构是十分的耐用的，并且故障率也是很低的，另外从制造的角度去思考，本实用新型由于采用单纯的机械结构，所以制造成本也是很低下的，且拆装简单快速。
声明：
“5G半导体晶圆加工用废水处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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