本实用新型公开了一种可将超纯水生产过程中产生的废水回收再利用的废水回收设备,其结构包括:废水回收水箱、低压水泵、过滤器、高压水泵和反渗透水处理系统,废水回收水箱的出水口通过管路、以及设置在该管路上的低压水泵与所述过滤器的输入口相连,所述过滤器的输出口通过管路、以及设置在该管路上的高压水泵与所述的反渗透水处理系统的输入口相连,反渗透水处理系统还设置有达标水出口、未达标水出口和浓缩废水排放口,反渗透水处理系统在达标水出口处设置有电导测试探头,反渗透水处理系统的未达标水出口与所述的废水回收水箱相连通。通过该设备使超纯水系统中产生的废水,再次回收,使水质达到原水要求,具有节能环保及降低成本的特点。
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