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晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用

807   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:14:36
本发明涉及工业废液的分类排放技术领域，具体涉及一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用。该系统包括多组提供清洗液的供液管路和与每组的供液管路对应的排放清洗废液的排放管路，在每条的供液管路上设置有供液气动开关阀，在每条的排放管上设置有排放气动开关阀，系统还包括输出开关信号的控制装置、由控制装置控制的供液电磁阀和由控制装置控制的排放电磁阀，供液电磁阀连接各个的供液气动开关阀，排放电磁阀连接各个的排放气动开关阀，系统还包括多条废液收集槽。通过本发明所提供的系统，可以对废液的排放进行切换，达到废液的分类排放效果，降低废液排放和回收的处理成本，提高回收化学品的品质和回收量，并有利于环保。
声明：
“晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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