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过滤有机废水的复合型微孔滤膜制备方法

635   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:12:04
一种过滤有机污染物废水的复合型微孔滤膜制备方法，通过在多孔材料上沉积钽膜、掺杂金刚石薄膜，制备出具有良好导电特性的BDD-Ta-Ti复合型微孔滤膜，步骤包括：1）衬底预处理；2）钽膜溅射；3）掺杂金刚石薄膜制备：在沉积金刚石薄膜之前，先要对HFCVD设备的热丝进行表面碳化，以防止在金刚石形核和生长过程中热丝发生碳化反应争抢大量的碳源影响金刚石形核和生长，然后利用HFCVD工艺在衬底上沉积一层金刚石薄膜。本发明的优点是：制备的薄膜质量优良，具有较强的抗污染能力，特别适用于石油工业、染料加工、机械制造等行业产生有机污染物废水的过滤；该薄膜制备工艺条件简单、容易操作、成本较低，易于推广。
声明：
“过滤有机废水的复合型微孔滤膜制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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