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减薄划片废水的回用工艺和系统

933   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 01:05:19
本发明利用膜分离技术处理硅片减薄划片废水,将废水中的单晶硅浓缩回收,其中膜透过液作为混床进水回用到生产工艺上。根据本发明的一种硅片减薄划片废水处理方法,包括先采用精密过滤器所述硅片减薄划片废水,再采用中空纤维超滤装置进行处理,获得超滤透过液和浓缩液,最后所述超滤透过液进行深度脱盐处理的过程。减薄划片废水经过本发明回用处理,使水资源充分利用回收,节省了大量工业用水。
声明：
“减薄划片废水的回用工艺和系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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