本发明公开了一种砷化镓
芯片高砷高盐废水和含砷研磨废水综合处理方法,目的在于解决砷化镓芯片的高砷高盐和含砷研磨废水的处理问题。该方法包括如下步骤:(1)高砷高盐废水结晶脱盐及单效蒸发预处理;(2)含砷研磨废水沉淀预处理;(3)综合废水除砷除磷除氟沉淀处理;(4)芬顿臭氧二级氧化及沉淀处理;(5)氨氮去除;(6)树脂吸附(7)污泥处理。本发明工艺合理,能够解决高砷高盐砷化镓芯片废水结晶堵塞、难沉淀的问题,消除高盐和研磨液超细悬浮物对树脂吸附的不利影响,保证处理后的废水达标排放,具有显著的经济价值、环境价值,对于促进半导体产生的发展,具有现实的意义。
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