一种臭氧催化氧化法处理工业废水的装置及处理工艺,其中装置中从管道反应器的进水端到出水端依次设置第一气液预混段、氧化反应段、第二气液预混段和催化氧化反应段;氧化反应段中设置有分段填装的惰性材料,催化氧化反应段中设置有分段填装的臭氧催化氧化催化剂;在每段惰性材料、每段臭氧催化氧化催化剂和第一气液预混段的进水端均设置臭氧曝气装置;臭氧曝气装置连通到臭氧发生装置。本发明通过管道反应器的形式,利用静态混合器、超声波微波联用混合装置对臭氧及废水进行充分混合,大幅增强了气、液两相传质效果,提高催化反应的速率。同时,减少大型塔器设备的使用,节约了成本。
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