本发明公开了一种难降解工业废水超低排放深度处理方法及系统。所述系统包括依次连接的臭氧发生器;微气泡发生器;臭氧催化氧化反应器;曝气脱氧罐;和好氧生物膜反应器。本发明充分利用了微气泡(催化)臭氧化的强氧化能力和高反应效率,以及好氧生化处理的低成本运行,在难降解工业废水深度处理中应用,臭氧利用率达到90%以上,单次梯级处理难降解有机物矿化去除率可达到50‑60%,两次梯级循环处理或两级梯级处理难降解有机物矿化去除率可达到70‑80%,处理后出水COD浓度可降至50mg/L以下,满足更严格排放标准要求。
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