一种全固态电解质薄膜溅射所用靶材的制备方法,属于锂离子电池领域。靶材成分为Li3PO4·Li2SiO3靶材,采用压制烧结的方法制得,制备步骤如下:(1)将试剂级的Li2CO3,SiO2和NH4H2PO4按照一定比例混合;(2)将混合物与Al2O3球混合,球料比为1:12,研磨介质为去离子水;在球磨罐中进行球磨,球磨时间为45‑51h,在球磨最后4个小时加入PEG‑2000;(3)球磨后,将粉料干燥22‑26h,进行过筛和造粒处理;(4)采用干压成型的方式将粉料压制成型;(5)然后在空气中烧结得到Li3PO4·Li2SiO3靶材,所述靶材直径为76.2mm,厚度为3mm。本发明方法制备得到的靶材致密度较高,具有足够的纯度和强度。
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