本实用新型公开了一种钽酸锂
芯片的研磨装置,包括机台,机台上设有可转动的下研磨盘,下研磨盘为圆形;下研磨盘上设有能转动的上研磨盘,上研磨盘也为圆形,且直径与下研磨盘一致;上研磨盘的转动轴心与下研磨盘一致,但转动方向相反;机台还设有频率监测装置,上研磨盘的上端面设有多个供频率监测装置的探测头伸入的通孔,频率监测装置与驱动下研磨盘和上研磨盘的电机电气连接。该实用新型的一种钽酸锂芯片的研磨装置,能提高钽酸锂芯片的研磨的成品率,且加工成本低。
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