本申请提供一种铌酸锂薄膜超晶格的制备方法,包括:1)制备套刻标记;2)根据套刻标记,在x切的铌酸锂薄膜表面制备周期性叉指电极结构;3)在光刻好的叉指电极结构上镀金属电极;4)去除光刻胶,得到周期性叉指电极;5)在一侧叉指电极上接入电极正极,另一侧叉指电极接地,施加电场,使得叉指电极之间畴翻转,去除电极,得到第一周期性畴翻转结构;6)将套刻标记向右平移一个周期的距离,重复步骤2)~5),得到第二周期性畴翻转结构;7)重复执行步骤6),直至得到的所有畴翻转结构之间的间距相等,完成制备。采用前述的方案,采用多次套刻,多次电场极化,在x切的铌酸锂薄膜表面制备周期性的电极,制备出畴壁与z轴垂直的畴结构。
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