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铌酸锂薄膜集成芯片、光电子器件和光纤陀螺

847   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:51:08
本发明实施例公开了一种铌酸锂薄膜集成芯片、光电子器件和光纤陀螺，该集成芯片自下而上依次包括衬底、下包层、铌酸锂薄膜波导芯层、上包层，其中，铌酸锂薄膜波导芯层包括依次连接的入射单元、起偏单元、Y分支耦合单元、模式滤除单元、Y分支分束单元、相位调制单元和谐振单元。本发明实施例通过利用铌酸锂薄膜低损耗、小尺寸、高电光性能等优势，实现起偏、分束、合束、调制以及谐振等多种功能单片集成，解决了多种异质材料混合集成技术存在热匹配、光耦合损耗等问题，提高芯片集成的集成度和可靠性，简化工艺流程。
声明：
“铌酸锂薄膜集成芯片、光电子器件和光纤陀螺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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