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铌酸锂光波导偏振器及制备方法

1031   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:32:17
本发明公开一种铌酸锂光波导偏振器及制造方法，所述铌酸锂光波导偏振器包括：铌酸锂衬底、在所述铌酸锂衬底的上表面下沉形成钛扩散波导区和反质子交换区；所述钛扩散波导区和所述反质子交换区对应设置且连通；所述钛扩散波导区用于放置钛扩散波导；所述钛扩散波导为间断的条形钛膜；所述反质子交换区用于放置反质子交换波导。本发明在所述铌酸锂衬底的上表面设置钛扩散波导区和反质子交换区；并将所述钛扩散波导区和所述反质子交换区对应连通设置，进而解决退火质子交换的模场匹配问题，减小光波导表面散射，降低光波导的传输损耗。
声明：
“铌酸锂光波导偏振器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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