一种V型梁
复合材料电热微驱动器,用于微机电系统技术领域。本发明包括包括聚合物、金属弹簧结构、导电触点,聚合物完全包裹金属弹簧结构形成的V型悬臂梁,V型悬臂梁位于两个导电触点上,两个导电触点位于驱动器两端。本发明借助聚合物包裹金属弹簧的复合结构,在保留了传统电热微驱动器驱动电压小、驱动力大的优点的同时,实现了低功耗大位移,降低了制造成本。当悬臂梁驱动前端导电触点接入外部电路时,便可作为微继电器或微机械开关使用。
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