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编辑：中冶有色技术网
来源：星烁（苏州）电子科技有限公司
权利要求
1.尾气等离子处理吸收设备，包括依次连接的等离子高温反应装置（1）、冷却降温装置（2）和氮氧化物吸附装置（3a），其特征在于：所述冷却降温装置（2）包括外壳（21）和在所述外壳（21）内竖直设置的若干通气列管（22），所述通气列管（22）的内外侧互不连通，所述通气列管（22）的上口连通所述等离子高温反应装置（1）的内腔，所述通气列管（22）的下口连通一个能从下部打开的灰尘清理腔（23），所述灰尘清理腔（23）的侧壁连通所述氮氧化物吸附装置（3a）的下部进口，所述外壳（21）上设有进水口（211）和出水口（212），所述进水口（211）和所述出水口（212）之间连接有冷却水循环装置（4）。2.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述等离子高温反应装置（1）的顶部设有多个进气管口（11）。 3.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述等离子高温反应装置（1）的侧壁具有隔热层（12）。 4.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述灰尘清理腔（23）的出口通过一个三通切换阀（5）同时连接两个氮氧化物吸附装置（3a、3b）。 5.根据权利要求4所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：两个所述氮氧化物吸附装置（3a、3b）的上出口汇于同一个排气口，所述排气口上设置有气体检测装置（6）。 6.根据权利要求1或4所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述氮氧化物吸附装置（3a）内设有滤网（31），所述滤网（31）将所述氮氧化物吸附装置（3a）的内腔分隔为下部的缓冲腔（32）和上部的填料腔，所述填料腔内设置有吸附填料（33）。
说明书
尾气等离子处理吸收设备
技术领域
本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，特别涉及一种尾气等离子处理吸收设备。
背景技术
半导体、太阳能、液晶面板、LED等行业工厂在生产制造过程中会使用到很多种类的电子气体，这些气体中大多都是有毒有害的危险气体。这些有毒有害的气体在生产工艺过程中有些会被利用到，还有一些残余的气体需要排放。因这些气体都是高危险气体，有些具有腐蚀性，有些具有易燃易爆性等，故需要在车间内靠近主设备的地方做及时处理，以最大限度地降低生产安全风险。
现在常见的气体处理设备分为干式吸附式、水洗式、电加热水洗式、等离子水洗式等，尤其是最近几年随着芯片和太阳能电池制造中工艺的升级，等离子式尾气处理设备应用越来越普及。等离子设备在高温燃烧处理完其它废气后还会产生大量的氮氧化物（NOx）废气，虽然大大降低了其它危害气体的排放，但同时又产生了新的污染源，因此还需要对氮氧化物进行吸附。
CN113477043A披露了一种尾气处理系统，包括预处理装置、喷淋装置和氮氧化物处理装置，预处理装置中能够喷射等离子体，尾气从预处理装置顶端进入，向下流动经过喷淋装置，然后再向上经过氮氧化物处理装置送出。但是这里采用的是直接用冷却水喷淋吸收的方式，但是随着冷却水吸收灰尘，会形成大量废水，且氮氧化物可能溶于水会变成可腐蚀设备的酸液，处理大量的酸性废水又会带来很高的成本。
因此需要改进设备来解决以上问题。
发明内容
本实用新型的主要目的在于提供一种尾气等离子处理吸收设备，能够在处理尾气和氮氧化物以外，避免产生高温废水，且方便废物清理。
本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种尾气等离子处理吸收设备，包括依次连接的等离子高温反应装置、冷却降温装置和氮氧化物吸附装置，所述冷却降温装置包括外壳和在所述外壳内竖直设置的若干通气列管，所述通气列管的内外侧互不连通，所述通气列管的上口连通所述等离子高温反应装置的内腔，所述通气列管的下口连通一个能从下部打开的灰尘清理腔，所述灰尘清理腔的侧壁连通所述氮氧化物吸附装置的下部进口，所述外壳上设有进水口和出水口，所述进水口和所述出水口之间连接有冷却水循环装置。
具体的，所述等离子高温反应装置的顶部设有多个进气管口。
具体的，所述等离子高温反应装置的侧壁具有隔热层。
具体的，所述灰尘清理腔的出口通过一个三通切换阀同时连接两个氮氧化物吸附装置。
进一步的，两个所述氮氧化物吸附装置的上出口汇于同一个排气口，所述排气口上设置有气体检测装置。
进一步的，所述氮氧化物吸附装置内设有滤网，所述滤网将所述氮氧化物吸附装置的内腔分隔为下部的缓冲腔和上部的填料腔，所述填料腔内设置有吸附填料。
本实用新型技术方案的有益效果是：
本设备能够利用等离子高温反应装置对送来的尾气进行高温分解，然后经过冷却降温装置降温和氮氧化物吸收装置吸收后送出，因为气流先下后上通过设备，所以积灰位置处在能够打开的灰尘清理腔中，这样可以很方便地进行设备维护，而且热交换时不会产生废水，不会增加后处理麻烦。
附图说明
图1为实施例尾气等离子处理吸收设备的管路图。
图中数字表示：
1-等离子高温反应装置，11-进气管口，12-隔热层；
2-冷却降温装置，21-外壳，211-进水口，212-出水口，22-通气列管，23-灰尘清理腔；
3a、3b-氮氧化物吸附装置，31-滤网，32-缓冲腔，33-吸附填料；
4-冷却水循环装置；
5-三通切换阀；
6-气体检测装置。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
实施例：
如图1所示，本实用新型的一种尾气等离子处理吸收设备，包括依次连接的等离子高温反应装置1、冷却降温装置2和氮氧化物吸附装置3a，冷却降温装置2包括外壳21和在外壳21内竖直设置的若干通气列管22，通气列管22的内外侧互不连通，通气列管22的上口连通等离子高温反应装置1的内腔，通气列管22的下口连通一个能从下部打开的灰尘清理腔23，灰尘清理腔23连通氮氧化物吸附装置3a的下部进口，外壳21上设有进水口211和出水口212，进水口211和出水口212之间连接有冷却水循环装置4。尾气从上往下经过等离子高温反应装置1，等离子高温反应装置1中能够产生温度高达上万度的等离子火炬，腔体内的平均温度可以达到1600℃~3000℃，故几乎所有尾气进入高温裂解腔体内都可以得到瞬间分解；随后分解后的高温废气往下通过冷却降温装置2，冷却降温装置2是一种热交换器的结构，废气中的热量通过通气列管22传递给在外壳21内流动的冷却水，受热的冷却水经过冷却水循环装置4冷却后重新供应给冷却降温装置2，因为通气列管22的内外侧互不连通，只有热量交换，因此废气与冷却水不直接接触，所以这个过程中不会产生大量酸性废水。若在冷却的过程中通气列管22内产生了灰尘，大多也会直接沿着竖直方向掉落到灰尘清理腔23中，只要定期打开灰尘清理腔23就可以排出灰尘，也可以方便地疏通通气列管22。经过冷却的废气再从下往上经过氮氧化物吸附装置3a，若废气中因高温反应产生了氮氧化物，那么在经过氮氧化物吸附装置3a时，这部分有害气体就会被吸收，而不会排往大气。因此，本设备能够利用等离子高温反应装置1对送来的尾气进行高温分解，然后经过冷却降温装置2降温和氮氧化物吸收装置3a吸收后送出，因为气流先下后上通过设备，所以积灰位置处在能够打开的灰尘清理腔23中，这样可以很方便地进行设备维护，而且热交换时不会产生废水，不会增加后处理麻烦。
如图1所示，等离子高温反应装置1的顶部设有多个进气管口11。对于生产企业来说，产生的尾气种类可能是不唯一的，比如酸性气体、碱性气体、有机气体、易燃气体等，而不同的尾气若提前混合也可能会发生剧烈反应而存在危险，因此需要通过不同的进气管口11独立通入等离子高温反应装置1后再处理会比较安全。
如图1所示，等离子高温反应装置1的侧壁具有隔热层12。因为等离子高温反应装置1内的温度很高，所以需要利用隔热层12一方面减少热量传导损失，另一方面要降低外壁温度，以防烫伤操作人员。
如图1所示，灰尘清理腔23的出口通过一个三通切换阀5同时连接两个氮氧化物吸附装置3a、3b。当发现前一个氮氧化物吸附装置3a吸附饱和的时候，可以利用三通切换阀5切换到连通另一个氮氧化物吸附装置3b，氮氧化物吸附装置3a就能更换吸附填料33，反之亦然，以免处理不及时导致过多有害气体排入大气。
如图1所示，两个氮氧化物吸附装置3a、3b的上出口汇于同一个排气口，排气口上设置有气体检测装置6。气体检测装置6能够直接对排入大气的气体组分进行检测，如果发现有氮氧化物溢出，就能表征氮氧化物吸附装置3a或氮氧化物吸附装置3b吸附量达到饱和，这样就能第一时间报警或直接驱动三通切换阀5完成管道切换。
如图1所示，氮氧化物吸附装置3a内设有滤网31，滤网31将氮氧化物吸附装置3a的内腔分隔为下部的缓冲腔32和上部的填料腔，填料腔内设置有吸附填料33。当气体刚进入氮氧化物吸附装置3a时，会在缓冲腔32内释放压力，然后在滤网31处让气流均匀上行通过吸附填料33，这样可以让吸附填料33与气体充分接触，以免发生吸附填料33有效利用率降低的问题。氮氧化物吸附装置3b与氮氧化物吸附装置3a结构相同，不再赘述。
以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
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2024年12月06日 ~ 08日 
