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半导体研磨废水处理装置

1544   编辑:中冶有色网   来源:深圳市芯愚公半导体有限公司  
2022-05-20 16:11:14
权利要求 1.半导体研磨废水处理装置,包括壳体,壳体上连通有进水管和投料管,其特征在于,所述壳体内设置有间隔分布的第一隔板和第二隔板,第一隔板和第二隔板将壳体内分为搅拌室和压滤室,所述第一隔板固定安装有连通搅拌室和压滤室的带有阀门的连通管,所述壳体上设置有伸入搅拌室内的搅拌组件,所述压滤室内设置有与搅拌组件连接的压滤组件。2.根据权利要求1所述的半导体研磨废水处理装置,其特征在于,所述搅拌组件包括安装板,安装板设置有多组且固定安装在壳体上,安装板上共同转动安装有曲轴,曲轴一端固定连接有位于安装板上的旋转动力件。 3.根据权利要求2所述的半导体研磨废水处理装置,其特征在于,所述搅拌组件还包括第一连杆,第一连杆设置有多组且滑动安装在壳体上,第一连杆贯穿壳体侧壁且一端伸入搅拌室内,第一连杆位于壳体内的一端固定安装第一压板,第一连杆远离第一压板的一端固定安装有连接架。 4.根据权利要求3所述的半导体研磨废水处理装置,其特征在于,所述连接架设置为框型结构,第一连杆通过连接架与曲轴活动连接,且曲轴滑动安装在连接架内。 5.根据权利要求4所述的半导体研磨废水处理装置,其特征在于,所述压滤组件包括压滤筒,压滤筒设置有多组且固定安装在第二隔板上,压滤筒与压滤室连通且压滤筒位于第一压板的投影位置上,压滤筒一端伸出壳体。 6.根据权利要求5所述的半导体研磨废水处理装置,其特征在于,所述压滤组件还包括第二连杆,第二连杆设置有多组且分别固定安装在第一压板上,第二连杆贯穿第二隔板且伸入到压滤筒内,第二连杆远离第一压板的一端固定安装有活塞件,活塞件外侧面与压滤筒内壁滑动连接。 7.根据权利要求6所述的半导体研磨废水处理装置,其特征在于,所述压滤组件还包括安装筒,安装筒通过螺纹安装在压滤筒的末端,安装筒位于压滤筒内的一端固定安装有多组间隔分布的安装环,安装环之间通过连接柱固定连接,安装环上沿着流水方向依次固定安装有滤网、活性炭过滤网和生物质膜。 说明书 半导体研磨废水处理装置 技术领域 本实用新型涉及废水处理装置技术领域,具体是半导体研磨废水处理装置。 背景技术 众所周知,目前,半导体工业已经超过传统的钢铁工业、汽车工业,成为了一种高附加值、高科技产业。半导体在进行加工时需要对其表面进
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