权利要求
1.异型材料的焊接方法，其特征在于，包括如下步骤： S1：于背板表面开出与靶坯相匹配的凹坑，将靶坯置于背板上的凹坑内； S2：将背板加热至一定温度后，将靶坯置于背板的凹坑中进行轧制； S3：控制第一道次的轧制压力和形变量，将背板和靶坯进行预定位； S4：将背板与靶坯相对于第一道次旋转90°进行第二道次轧制，控制第二道次的轧制压力和形变量，使背板和靶坯接触界面形成冶金结合； S5：将背板和靶坯按照同一方向旋转，每旋转相同角度进行一次轧制，控制每道次的轧制压力、形变量以及轧制次数，使背板和靶坯形成界面连接制得靶材，实现异型材料的焊接。
2.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步骤S1还包括将背板和靶坯的表面粗糙度处理至1.6μm以下。
3.根据权利要求2所述焊接方法，其特征在于，背板和靶坯的表面粗糙度处理至0.8μm以下。
4.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述背板为铝合金背板、铜背板或不锈钢背板；所述靶坯为高纯铝靶坯、高纯铝铜靶坯或高纯铝硅铜靶坯，所述靶坯的纯度不低于99.999％。
5.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步骤S2中背板的温度为400℃。
6.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，第一道次和第二道次的轧制压力均为300MPa，轧制形变量均不高于0.25mm。
7.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步骤S5中背板和靶坯每旋转45°进行一次轧制。
8.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步骤S5中每道次的轧制压力为800MPa，每道次的轧制形变量为1mm，轧制次数为8道次。
9.根据权利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述焊接方法含包括将轧制完成后的靶材进行C扫检测过程，靶材的绑定率不低于98％。
10.根据权利要求9所述焊接方法，其特征在于，所述焊接方法还包括将C扫检测后的靶材，经真空干燥后于180℃热处理1h过程。
说明书
异型材料的焊接方法
技术领域
本发明属于溅射靶材制备技术领域，具体涉及一种异型材料的焊接方法。
背景技术
声明：
“异型材料的焊接方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1873
编辑：中冶有色网
来源：先导薄膜材料（广东）有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
