氮化铝陶瓷氢气还原烧结设备(2000℃)
上海钜晶推出的氮化铝陶瓷氢气还原烧结设备(型号:SWSL-2000 Ф450*400mm)是一款高温烧结炉,最高工作温度可达2000℃,专为氮化铝等陶瓷材料设计,适用于半导体、
氧化铝蚀刻机等行业。该设备支持在真空或气氛环境下高温烧结,并可通入纯氢气或氮氢混合气体,确保氢气尾气燃烧和实时监测,以实现安全可靠的工艺过程。设备具备高自动化程度,配备安全联锁保护功能,以及超温断电、停水断电等多重安全保护措施。此外,该设备结构合理、性能稳定,采用模块化设计,便于维护和更换,旨在提高生产效率并降低能耗,同时可以根据客户需求进行定制化生产。
关 键 词:氮化铝,半导体,氧化铝,蚀刻机,湿氢,氢气还原,高温烧结,真空炉,氢气炉
型号:SWSL-2000 Ф450*400mm(2309951)
品牌:上海钜晶
发货周期:1-4个月
接受订制:可按要求定制
一、应用行业工艺信息
1、主要信息:
二、设备主要用途及优点
1、主要用途:主要用于氮化铝高温烧结,通纯氢气或者氮氢混合主要优点或特点:
①、工艺满足性:根据客户工艺要求,真空或者气氛下高温烧结,可通纯氢气,氢气尾气燃烧、氢气实时监测,安全可靠,既能满足客户工艺需求又能节俭成本和使用空间。
②、设备安全性:
A、设备安全:设有系统监控画面、故障处理画面及帮助界面等,系统在运行中的各种数据能够随时査看、记录并打印。面板上的红色闪光指示灯用来显示各种报警功能,操作者根据提示可以立刻判断出报警的位置并处理。
B、监测安全:配有安全联锁保护功能,具有超温断电或保持,停水断电(延时停止加热、
真空泵等),充气的压力保护及真空压力保护等。
C、第三方检测:可根据客户要求提供仪表、热偶、电气部件等质量保证文件,第三方计量鉴定等
③、自动化程度:设备自动化程度高,一人即可完成生产作业,可根据工艺设定程序自运行和安全互锁等功能;
④、质量等级:按优质设备配置,外形美观,结构合理,性能稳定可靠,使用寿命长,维护保养方便,相关电气配件采用进口或国内一线品牌;
⑤、稳定性和维护:设备的加热、真空、气路,控制系统等是模块化集成设计,便于维护和更换。
⑥、节能降耗生产效率:结构合理性能稳定。