权利要求书： 1.一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述处理装置包括依次连接的焚烧炉、余热锅炉、急冷塔、除尘器、盐酸吸收塔、碱洗塔、再热器、SCR反应器和吸附设备；所述焚烧炉的顶部设有燃烧器，所述燃烧器的出口连接至焚烧炉的顶部入口。
2.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述焚烧炉包括立式顶燃炉，所述焚烧炉上设有废气入口和废液入口，所述废液入口处设有喷嘴。
3.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述燃烧器的入口通入天然气和空气。
4.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述余热锅炉包括膜式壁余热锅炉，所述焚烧炉的底部出口通过倾斜烟道与余热锅炉的热源入口相连，两者共用一个排灰口。
5.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述除尘器包括布袋除尘器。
6.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括降温吸收塔，所述降温吸收塔设置于除尘器和盐酸吸收塔之间。
7.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括引风机，所述引风机设置于碱洗塔和再热器之间。
8.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述再热器包括换热器或燃烧器，所述燃烧器包括烟道式燃烧器。
9.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述吸附设备包括活性炭吸附箱。
10.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括烟囱，所述吸附设备的气体出口与烟囱相连。
说明书： 一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置技术领域[0001] 本实用新型属于废弃物回收处理技术领域，涉及一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，尤其涉及一种多晶硅生产过程中排出的含氯硅烷废气和废液焚烧及回收处理装置。背景技术[0002] 随着微电子产业和光伏产业的迅速发展，对其基础原材料多晶硅的需求也与日俱增，多晶硅在化工、冶金、机械、电子等众多学科与领域中均有广泛应用。而随着
声明：
“含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：南京博纳能源环保科技有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
