一种金属硅化物boe刻蚀废水零排放处理装置及方法
技术领域
1.本发明涉及一种金属硅化物boe刻蚀废水零排放处理装置及方法，属于废水处理工程技术领域。
背景技术：
2.太阳能光伏能源作为绿色能源逐渐被广泛应用，但随之而来的是太阳能电池生产过程中产生的废水污染，其污染物成分复杂、浓度高，若不能达标排放，将产生不可逆的不良影响。
3.太阳能电池生产一般包括制绒、扩散制结、刻蚀、pecvd镀减反射膜、丝网印刷电极、烧结等过程，废水主要来自于制绒、刻蚀等环节的生产排水以及硅烷燃烧塔、氮氧排洗涤塔的排水，各环节产废性质各不相同。由于产能提升和产品升级需要，生产功能改进、技术更新，产生了含氟、含氨氮的金属硅化物刻蚀boe废水。该废水主要来源于蚀刻剂，主要污染物为重金属离子，还有少量f-、nh
3-n、悬浮物等。这部分金属硅化物boe刻蚀废水直接外排将严重危害人类身体健康。处理得当，不仅可以使废水达标排放，还可以对废水进行回用，同时也可将废水中的有价金属回收利用。
4.传统的重金属废水处理方法包括：化学沉淀、氧化还原处理、蒸发浓缩法、离子交换法、吸附法、膜分离法、电化学法。单一方法均存在技术上的缺陷，并且由于该金属硅化物boe刻蚀废水中除了重金属离子，还含有f-和nh
3-n，需考虑同步去除回用。其中，重点在于对工艺流程及工况的选择。
5.目前，重金属回收、脱氮、除氟都分别有各自的处理工艺，但是这些工艺单独进行会增加建设成本、需要额外添加多种化学药剂、消耗能源，经济效益低，因此需要寻求一种更加简单、清洁和高效的回用技术以满足废水回用的需求。随着国家和各省区污染综合防治规划和相关技术要求的实施，迫切需要一种能满足排水水质和节水回用更高要求的工艺系统，解决废水回用效率低、回用水质差、运行成本高等问题。
技术实现要素：
6.发明目的：针对现有金属硅化物boe刻蚀废水在同步除氟脱氮的回用过程中建设成本高、需要额外添加多种化学药剂、能耗高、回收率低、回收水质差、运行成本高问题，提供了金属硅化物boe刻蚀废水零排放处理装置及方法，对该股废水进行回收利用，回收效率高、去除效果好、便于操作，能经济稳定地长期运行。
7.技术方案：为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
8.一种金属硅化物boe刻蚀废水零排放处理装置，包括废水收集池、高效集成反应沉淀池、酸碱调节缓冲池、砂
声明：
“金属硅化物BOE刻蚀废水零排放处理装置及方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：江苏道同环境科技有限公司
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2025年06月13日 ~ 15日 
