◆工业计算机控制系统,对炉温、进出料、气体流量等动作进行自动控制
◆关键部件均采用优质配件,确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管),流量控制采用优质流量计(MFC)控制
◆工作压力闭环自动控制,提高工艺稳定性和可靠性
◆控温精度高,温区控温稳定性好
◆具有断电报警、超温报警等多种安全保护功能
◆高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命
CVD主要技术指标:
一、温度控制系统
高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,适合于科研单位的材料工艺研究。有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小 电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预, 可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、 欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采 优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。
1、1200系列四温区管式炉
最高温度:1200℃
使用温度:≤1100℃
炉膛有效尺寸:Φ50mm
炉膛材料:1500型 氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型: K型热电偶(4个点) 。
控温精度:±1℃, 30段可编程控温,PID温度控制程序,四段控温(250+250+250+250mm),四段温度可设置相同,获得超长加热温区,也可以根据需要设定不同温度段,以满足不同的工艺要求。
加热元件:优质电阻丝
供电电源: 单相,220V,50HZ
2、1700系列双温区管式炉
最高温度:1700℃
使用温度:≤1600℃
炉膛有效尺寸:Φ50mm
炉膛材料: 1800型氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型: B型热电偶(2个点) 。
控温精度:±1℃, 30段可编程控温,PID温度控制程序,2段控温(200+200mm),两段温度可设置相同,获得较长加热温区,也可以根据需要设定不同温度段,以满足不同的工艺要求。
加热元件:优质硅钼棒
供电电源: 单相,220V,50HZ
二、气路控制系统:
气体流量控制器采用质量流量控制器,该控制方式具有控制精度高,稳定好,气体适应性强的特点。可以很大程度上提高控制精度,提高设备的重复性和稳定性。
重量:35Kg
连接头类型:双卡套不锈钢接头。
气体种类:3路.
标准量程(N2): N2: 200、(具体量程需最终确认)
准确度:±1.5%
线性:±0.5~1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
最大压力:3MPa
接口:Φ6,
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
三、收放轴系统及张力系统
收放轴位于炉体底部,走线滚轮位于炉体两侧,与法兰出丝位置同高,方便出丝走线,也便于操作,收放轴电机均通过伺服电机控制,速度可调,控制精度高,收线电机为双电机控制,可以控制收线轴横向移动,可实现均匀收线。
系统安装有两个张力计,在热处理过程中实现不同张力条件
收卷单元:伺服电机+PLC