主要配置 |
技术参数 |
机械泵 |
抽气速率:10m³/h 容油量:1.1L 电机功率:400W 极限压强:6×10-2Pa |
分子泵 |
抽气速率:100L/S 极限压强:6×10-6Pa 额定转速(rpm):4300; 环境温度5-32℃时分冷,5-40℃时看水冷。 电压:220V±22V
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复合真空计 |
测量路数:2路(电阻规、电离规各1路) 工作模式:手动/自动 电阻单元参数 规管型号:ZJ-52T电阻规 测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元参数 规管型号:ZJ-27电离规 可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式:焦耳去气 其他参数 控制精度:±1% 采样时间:1S 电源:220V±10% 50HZ 功耗:50W 使用环境温度:0℃~45℃ 湿度:≤85% |
连接管路 |
采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |