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1200℃双管滑道式CVD系统

1200℃双管滑道式CVD系统

浏览量 574
规格/型号:KJ-1200T
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

1200℃双管滑道式CVD系统说明介绍

1200℃双管滑道式CVD系统

设备介绍

该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。炉底部装有滑轨,可通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。该cvd高温炉广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势

可快速加热和冷却

炉底部装有滑轨,可通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却

30段高精度可编程温控

控温系统采用PID方式调节,30段高精度数字可编程温度控制器

双温区独立控温

双温区独立控温,可以在加热区内形成温度梯度或较长的恒温区域

技术参数

产品名称 1200℃双管滑道式CVD系统

第一部分: 1200度滑道双管双温区管式炉

产品型号 1200度滑道管式炉

炉管尺寸:

双石英管

外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

内管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热区 220+220mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 电阻丝

升温速率 0-10°C/min

热电偶 N型

第二部分: 水冷系统

法兰:

1.可选配水冷机

2.水冷,密封双管的真空法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.

第三部分 真空系统

真空系统

1. 防腐数显真空计

2.旋片泵,含挡板阀 KF25接口,波纹管和箱体

第四部分 混气系统

质量流量计

量程:

MFC 1: 0~10 sccm

MFC 2: 0~200 sccm

MFC 3: 0~10 slm

MFC 3: 0~10 slm
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