1.本发明涉及抛光浆料制备技术领域，尤其涉及一种高纯纳米氧化铝抛光浆料的制备方法。
背景技术：
2.抛光液是超细固体研磨材料和化学添加剂的混合物，为均匀分散的乳白色胶体，起到研磨、腐蚀溶解等作用，主要原料包括研磨颗粒、ph调节剂、氧化剂和分散剂等。高精度、高性能晶圆抛光的对抛光浆液的要求高，而目前国内现有的抛光浆料产品在使用时存在分散性不佳、抛光效果一般的问题。
技术实现要素：
3.本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高纯纳米氧化铝抛光浆料的制备方法。
4.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
5.一种高纯纳米氧化铝抛光浆料的制备方法，包括以下步骤：
6.步骤1：将氧化铝原料、超纯水和研磨介质a上料研磨机a中，循环研磨至氧化铝的粒径d50为1-3μm；
7.步骤2：将研磨机a中研磨完成后的氧化铝、超纯水输送至研磨机b中，并将分散剂和研磨介质b上料至研磨机b中，循环研磨至氧化铝的粒径d50为80-120nm，d99＜280nm；
8.步骤3：对研磨机b中研磨完成后的氧化铝浆料进行纯化处理；
9.步骤4：对纯化处理后的氧化铝浆料进行过滤，得到高纯度纳米氧化铝抛光浆料。
10.优选的，步骤2中分散剂的添加量为氧化铝原料重量占比的0.3％-10％。
11.优选的，步骤4制备所得的高纯度纳米氧化铝抛光浆料的固含量为20％。
12.优选的，所述氧化铝原料为原晶粒径＜0.5μm的煅烧α-al2o3；α-al2o3含量≥98％，总al2o3纯度≥99.8％。
13.优选的，所述分散剂为三乙醇胺、聚丙烯酸铵盐、三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、聚乙烯醇、十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、苯乙烯-马来酸系超分散剂中的一种或几种。
14.优选的，所述聚乙烯醇的聚合度为2.5万-17万，醇解度为78％-98％；所述聚丙烯酸铵盐的固含量为35％-65％。
15.优选的，所述研磨介质a为氧化铝球和氧化锆球中的一种；研磨介质a的直径为2mm。
16.优选的，步骤1中的研磨时长为15min，研磨得到的氧化铝粒径d50为2μm。
17.优选的，所述研磨介质b为氧化铝球和氧化锆球中的一种；研磨介质b的直径为0.1mm。
18.优选的，步骤2中研磨时长为4-8h。
19.优选的，步骤3中的纯化处理方法为：采用阴离子交换树脂和阳离子交换树脂对氧
声明：
“高纯纳米氧化铝抛光浆料的制备方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：美轲（广州）新材料股份有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
