1.本发明涉及一种硅片切割液硅粉回收系统及其工艺。
背景技术：
2.在光伏产业链中，硅片切割是光伏电池生产中一个十分重要的工序，而对于硅片生产商而言，sic砂和peg是最重要的辅料，在切割加工成本消耗中占据主要位置。砂浆是太阳能硅片切割中通用的一种说法，主要由聚乙二醇(peg)与碳化硅(sic)微粉混合搅拌而成。在硅片切割领域，最直接降低生产成本的措施就是对切割后的废砂浆进行回收利用。目前主流的处理方法是采用离线回收技术，即切片后的废砂浆交给回收处理的工厂进行处理，分离出砂和液重新处理后，返回切片厂重新搅拌调和后进行使用。线切割加工的过程有赖于晶硅切割液(又称切削液、悬浮液)、碳化硅微粉(又称磨料、切割砂)的配合使用，同时会伴生大量的晶硅切割废砂浆。根据国内硅片企业的平均工艺水平，1mw硅片约需耗用12吨晶体硅；每切割1吨晶体硅约需要使用3.0吨碳化硅微粉和3.2吨晶硅切割液，并在切割过程中产生约7.6～7.9吨切割废砂浆。根据2010年国内硅片产业的统计数据，预期2012年，国内硅片企业年需碳化硅微粉约115.2万吨、晶硅切割液约122.88万吨，年产生切割废砂浆总量约300万吨。切割废砂浆的主要成分为切割液组份、碳化硅、硅粉以及金属杂质。众所周知，晶硅切割切割环节有约50％的晶硅被切割成硅粉而进入到废砂浆中，由于缺乏有效的回收和综合利用技术，每年上万t晶硅材料被白白损失掉。单晶和多晶硅都是通过高能耗、高成本得到的，其市场价值远大于碳化硅、切割液等辅材；若能针对硅片生产环节的废弃晶硅组份加以回收利用，使其体现应有的循环经济价值，无疑具有极其巨大的经济、社会和环境效益。
3.现有技术中对硅片切割液的性质也有所研究，以线据废料为原材料，xrd测试表明线锯废料中固体粉末主要成分为sic和si；废料的固体粉末中存在两种粒径以及形貌差异较大的颗粒，其中棱角分明、尺寸较大，粒径在4～8μm左右的为碳化硅颗粒；粒径较小，粒径在2μm以下的为硅粉，整体平均粒度约为3.7μm。将原始的线锯废料和用去离子水清洗去peg后得到的废料在80℃恒温水浴中放置7天均未发现明显的氧化现象，表明碳化硅和硅粉在水中相对稳定，结合密度和颗粒度的差异以及碳化硅亲水憎油、硅粉憎水亲油的特性，在二者的分离上可以采用水力旋流或相转移分离工艺(参见黄建华在《科技视界》杂志上发表的论文《硅片线锯废料中固体
声明：
“硅片切割液硅粉回收系统及其工艺的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：江苏秉盛环保工程有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
