1.本发明属于膜制备技术领域，涉及一种聚四氟乙烯过滤膜的制备，尤其涉及一种半导体行业用的聚四氟乙烯过滤膜的制备。
背景技术：
2.微孔折叠膜滤芯也叫微孔滤芯/折叠膜滤芯，其以复合型折叠式微膜作为过滤的介质，通过膜表面的微孔筛选，达到一定的微粒过滤作用。微孔膜折叠式滤芯因具有高截留率、高流通量、低压差和广泛的化学相容性等特点，在医药、食品、饮料、啤酒、化工等行业中广泛使用，微孔折叠膜滤芯中的滤膜材料主要有聚四氟乙烯ptfe、聚偏氟乙烯pvdf、聚丙烯pp和聚醚砜pes等。其中，聚四氟乙烯ptfe是一种对强酸、强碱、有机溶剂等具有良好耐受性的膜材料，以ptfe为原料制备的微孔膜折叠式滤芯具有孔径分布均匀、孔隙率高、水通量大、截留率高、良好的化学耐受性和热稳定性等特点，广泛应用于各领域。
3.在空气水过滤领域，申请号为201810488542.6的发明专利申请就公开了一种超滤微孔反渗透ptfe膜的制备方法、滤芯及过滤系统，其先将ptfe树脂与润滑剂置于高温混料机中混合并熟化，得到糊料；其次将糊料经挤出机设备挤出成型得到初料；然后将初料在150-350℃温度下先经过纵向拉伸制备成基膜，然后在横向拉伸机上拉伸成宽幅为1-3m的ptfe双向拉伸微孔膜；再在naoh的碱性催化下采用聚丙烯酸丁脂的乙醇溶液浸润peft膜，对peft膜表面进行水解改性；再将ptfe微孔复合膜表面喷涂氟树脂悬浮乳液并烘干；最后烧结定型，制得超滤微孔反渗透ptfe膜。其通过对ptfe树脂及润滑剂混合、熟化、挤出、拉伸、改性、复合、烧结，制得超滤微孔反渗透ptfe膜，ptfe膜的平均孔径最小可达0.9um。
4.在光谱检测领域，申请号为2015109866589的发明专利申请就公开了一种带有防水防尘透气膜的光谱仪氩气过滤器的滤芯，其芯管的内孔壁面周圈沿左、右长度方向设有内层防水防尘透气膜，芯管的外径表面周圈沿左、右长度方向设有外层防水防尘透气膜，外层防水防尘透气膜的外表面周圈沿左、右长度方向设有毛线过滤层；内层防水防尘透气膜和外层防水防尘透气膜由聚四氟乙烯膨化拉伸扩展而成，拉伸之后的聚四氟乙烯膜的表面每平方寸有90多亿个微孔，每个微孔直径为0.1~0.3微米。
5.微孔折叠膜滤芯除了在医药、食品、饮料、啤酒、化工等行业中广泛使用外，近年来在半导体制造领域也逐渐越来越广泛应用。电子半导体行业精密过滤
声明：
“半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：安徽省众望科希盟科技有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
