本实用新型涉及一种LED蒸镀设备镀金工艺技术领域，更具体地说，它涉及一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚。
背景技术：
蒸镀是LED加工过程中的一个重要环节，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在基板上。在传统的LED蒸镀镀金工艺中，镀金的坩埚直接放在水冷底座的上方，这样的方式，具有以下缺点：
1、坩埚直接与底座接触，底座内有冷却水装置，受水冷影响，电子枪加热过程需要更高的能量；
2、蒸镀过程，坩埚外壁温度低，坩埚内的黄金在溶化过程，电子枪打坩埚中心位置，黄金在靠近坩埚壁的温度比中心位置的温度低，不容易溶化，坩埚内的黄金在蒸镀过程中心位置容易耗尽，容易出现凹坑的情况；
3、黄金在蒸镀过程受凹坑的影响，工艺过程镀金的速率不稳定，电子枪功率波动大。
技术实现要素：
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚，能够较少地受冷却水的影响。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚；包括坩埚本体，所述坩埚本体的底部可拆卸连接有石墨垫片，所述石墨垫片呈环形；所述石墨垫片的内径为20mm，外径为37mm。
优选地，所述坩埚本体的底部设置有嵌槽，所述石墨垫片的顶部设置有与嵌槽适配的顶块；所述坩埚本体上设置有用于将所述顶块锁定于嵌槽内的锁定组件。
优选地，所述锁定组件包括套环、锁杆和弹簧；所述套环螺纹连接于坩埚本体的底部；所述嵌槽的侧壁与坩埚本体的外侧壁之间贯穿设置有通槽，所述锁杆活动设置于所述通槽内；所述通槽的内壁上具有第一限位座，所述锁杆的杆体上设置有第二限位座，所述弹簧套设于锁杆位于第一限位座与第二限位座之间的杆体上；所述锁杆的另一端伸出通槽；所述套环的内侧设置有倾斜面，所述倾斜面朝向坩埚本体的外侧倾斜；所述顶块的侧壁上设置有锁孔。
优选地，所述锁杆伸出通槽的一端呈半球形设置。
与现有技术相比，本实用新型的优点是：
1、在增加了石墨垫片后，隔绝了Au坩埚与冷却水直接接触，石墨片具有耐高温、导热性的特点，这样可使Au坩埚表面均匀加热，不会出现坩埚中央凹槽的情况；
2、有垫石墨片的炉次与不垫石墨片的炉次对比，镀金速率（简称：镀率）更稳定；
3、有垫石墨片的炉次与炉次对比，功率差异较大，但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳，且功率在15%左右
声明：
“应用于蒸镀镀金工艺的坩埚的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：福建兆元光电有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
