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金刚线切割硅片预处理设备

848   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:00:04
本发明公开了一种金刚线切割硅片预处理设备，包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸；通过射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,刻蚀气体通过气管通入石英反应腔,混合后被射频电源激发为等离子体,当硅片从下方经过时对硅片表面进行刻蚀，在硅片表面留下均匀细小的缺陷,这些缺陷在制绒槽内背继续腐蚀放大为绒面结构，使得后期制绒效果好，可以减少或者替代制绒添加剂，降低制绒成本和废水处理成本，提高电池片转换效率。
声明：
“金刚线切割硅片预处理设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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