本发明公开了一种高转换效率SE‑PERC
太阳能电池的制备方法,涉及太阳能电池技术领域,包括以下制备步骤:1)制绒2);磷扩散;3)激光重掺杂;4)氧化;5)去PSG;6)碱蚀刻抛光:将硅片背面进行碱蚀刻抛光;7)去除硅片正面的硅磷玻璃;8)退火;9)在硅片表面镀双面
氧化铝钝化膜;10)正面沉积减反射膜;11)背面沉积钝化膜;12)背面激光开槽;13)丝网印刷;14)烧结;本发明使用的是碱蚀刻技术,相对于酸蚀刻,可以降低刻蚀酸使用量,减少酸废水成本处理,有利于环保,且在激光重掺杂后、去PSG前增加了一到氧化工序,可以保证PN结不会受损伤,也可以对硅片有良好的钝化效果,对转换效率有明显提升。
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