本发明公开了一种PVD镀膜件、电镀件的高精清洗工艺,包括依次设置的工序:水洗一段、气洗一段、水洗二段、水洗三段、水洗四段、气洗二段、水洗五段、皂化清洗、真空切水、碳氢清洗、蒸汽浴洗与干燥以及气相清洗,通过对各个工序中的真空度、清洗剂温度、超声波频率、清洗时间的控制以及清洗剂的选择,从而形成对PVD镀膜件、电镀件的高精清洗。本发明对污染物处理彻底,良率可提高到98%以上,工艺精减,大大减少了安装空间,采用环保的清洗剂,符合环保要求,减排废水97%以上,工序后段清洗剂可回收程度高,清洗成本低。
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