本发明提供一种粗品六氟化硫的纯化方法,包括以下步骤:裂解除杂;水洗除杂;碱洗除杂;低压吸附;高压吸附;精馏除杂。本发明通过设置一至六级水洗塔,经过多次水洗有效去除粗品六氟化硫中的氟气、低硫氟化物、亚硫酰氟化物,提高六氟化硫的纯度,同时对水洗过程中的副产物氢氟酸进行回收,减少废水的产生,实现变废为宝;本发明通过设置一至六级碱洗塔,经过多次碱洗有效去除六氟化硫中的HF、CO
2、SO
2气体,提高其纯度,碱洗塔产生的废液通过在碱液收集槽中利用生石灰处理后重复利用,避免废液的产生,降低污染,节约成本。
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