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吹气腐蚀机及腐蚀、清洗方法

1031   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:52:02
本发明是一种吹气腐蚀机及腐蚀、清洗方法,其特征是进气阀与进气管相连,进气管的一端与盘管筒相接,另一端与A气室连接;加工时将晶片置于吹气瓶底部,并加设加盖蒙网,吹气瓶安装在A气室上,吹气瓶与腐蚀溶液槽中的A气室通过快速密封螺纹连接;净水机终端通过进水阀与进水管一端连接,进水管的另一端与B气室相连,废水管接纯净水槽上的溢水孔,水蒸气管接抽风孔,监控系统设置在控制柜上。优点:在腐蚀作业和清洗作业时,压缩空气经流量控制,晶片翻腾的分散游离不会产生叠片贴合和腐蚀痕不良品;腐蚀瓶与气室是快速螺纹连接,安装和拆卸操作便捷;单瓶装片量比摇篮提高3000pcs,产能效率高;结构简单,无须伺服电机控制。
声明：
“吹气腐蚀机及腐蚀、清洗方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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