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光开关

901   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:42:36
本申请提供一种光开关，包括第一无源波导结构、第二无源波导结构和有源波导结构，有源波导结构设于第一无源波导结构和第二无源波导结构之间；第一无源波导结构和第二无源波导结构均采用氮化硅材料制备形成，有源波导结构采用铌酸锂薄膜材料制备形成；本申请提出的光开关将氮化硅的较低传输损耗的优势与铌酸锂薄膜的优异的电光特性的优势结合，使得两种材料混合集成的光开关具有低损耗、快开关速度与低功耗等优势。
声明：
“光开关” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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